Verfahren zur Herstellung von Silizium-Einkristall-Wafer

EP1310583 Art B1 1. Oktober 2008

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1310583
Aktenzeichen
EP01943862
Anmeldetag
28. Juni 2001
Veröffentlichung
1. Oktober 2008
Erteilung
1. Oktober 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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