Cmp Vorrichtung mit einer Schwingenden Polierscheibe, die Entgegen der Drehrichtung der Halbleiterscheibe Dreht
EP1311366
Art A2
21. Mai 2003
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1311366
- Aktenzeichen
- EP01955879
- Anmeldetag
- 19. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 21. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
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