Verfahren zur Herstellung Mikromechanischer Strukturen mit mindestens einem Lateralen Schmalem Spalt und Herstellung Dieser Mikromechanischen Strukturen
EP1311455
Art A2
21. Mai 2003
Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1311455
- Aktenzeichen
- EP01973667
- Anmeldetag
- 24. August 2001
- Veröffentlichung
- 21. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
The Regents of the University of Michigan
Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.
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