Spektrometrisches Instrument mit Kleinem Brennfleck und Reduzierter Polarisation
EP1311893
Art B8
1. Februar 2006
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Therma-Wave, INC., THERMA-WAVE, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1311893
- Aktenzeichen
- EP01966701
- Anmeldetag
- 17. August 2001
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2006
- Erteilung
- 1. Februar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B21/06G02B27/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Therma-Wave, INC.
THERMA-WAVE, INC. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
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