Zur Bilderzeugung mit Tiefer Uv-Strahlung Geeignete Photoresistzusammensetzung und Diese Verwendendes Bilderzeugungsverfahren
EP1311908
Art B1
20. Juni 2007
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., CLARIANT INTERNATIONAL LTD. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1311908
- Aktenzeichen
- EP01967154
- Anmeldetag
- 11. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2007
- Erteilung
- 20. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
CLARIANT INTERNATIONAL LTD. - Land
- 🇺🇸 USA
🇨🇭
Clariant
Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.
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