Sputtering-Target, das Wenig Partikel Produziert, Belagträgerplatte mit dem Target und Verfahren zur Herstellung des Targets

EP1312695 Art B1 29. Juli 2009

Anmelder: Nippon Mining & Metals Co., Ltd., Nikko Materials Co., Ltd., Nikko Materials Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1312695
Aktenzeichen
EP01934313
Anmeldetag
23. Mai 2001
Veröffentlichung
29. Juli 2009
Erteilung
29. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34C23C14/00C23C14/34C23C4/00C23C4/12C23C14/56C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Nikko Materials Co., Ltd.
Nikko Materials Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nippon Mining & Metals

Nippon Mining & Metals war ein japanisches Unternehmen für Metallverarbeitung und Halbleitermaterialien, heute Teil von JX Nippon Mining & Metals. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Fertigungs- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2010 und betreffen unter anderem Kupferfolienverbundstoffe.

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