CVD-Heizelementsystem und Methode zu dessen Verwendung
EP1312698
Art A1
21. Mai 2003
Anmelder: Canon Anelva Corporation, ANELVA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1312698
- Aktenzeichen
- EP02257886
- Anmeldetag
- 14. November 2002
- Veröffentlichung
- 21. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/46H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
ANELVA CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
421 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Lyndon-Stanford, Edward W.B
London, Großbritannien
29
Patente gesamt
19
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Lyndon-Stanford, Edward Willoughby Brooke
NoneLondon