CVD-Heizelementsystem und Methode zu dessen Verwendung

EP1312698 Art A1 21. Mai 2003

Anmelder: Canon Anelva Corporation, ANELVA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1312698
Aktenzeichen
EP02257886
Anmeldetag
14. November 2002
Veröffentlichung
21. Mai 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/46H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Canon Anelva Corporation
ANELVA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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