Vorrichtung für die Herstellung von Halbleitern

EP1312985 Art B1 1. August 2012

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1312985
Aktenzeichen
EP02257942
Anmeldetag
18. November 2002
Veröffentlichung
1. August 2012
Erteilung
1. August 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F9/00G03B27/42G03B27/52H01L21/20B01D46/00B05C15/00F24F3/16
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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