Apparat für geladene Teilchen mit Aberrationskorrektur
EP1313125
Art B1
18. Juni 2008
Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1313125
- Aktenzeichen
- EP02257934
- Anmeldetag
- 18. November 2002
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2008
- Erteilung
- 18. Juni 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/26H01J37/252
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Jeol Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
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