Vorrichtung zur Herstellung eines Metallfilmes

EP1313127 Art B1 11. Februar 2009

Anmelder: Canon Anelva Corporation, PhyzChemix Corporation, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1313127
Aktenzeichen
EP02024599
Anmeldetag
5. November 2002
Veröffentlichung
11. Februar 2009
Erteilung
11. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C16/08C23C16/448C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Canon Anelva Corporation
PhyzChemix Corporation
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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