Vorrichtung und Verfahren für den Fluss von Prozessgas in einer Ultrasauberen Umgebung

EP1313896 Art A2 28. Mai 2003

Anmelder: Texas Instruments Incorporated, TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED, Reflectivity Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1313896
Aktenzeichen
EP01973670
Anmeldetag
28. August 2001
Veröffentlichung
28. Mai 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00C03C15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Texas Instruments Incorporated
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
Reflectivity Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

3.600 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Degwert, Hartmut München, Deutschland
318
Patente gesamt
24
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
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