Verfahren zur Reinigung von Halbleiter-Verarbeitungskomponenten

EP1314188 Art B1 27. September 2017

Anmelder: CoorsTek, Inc., Saint-Gobain Ceramics and Plastics, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1314188
Aktenzeichen
EP01954854
Anmeldetag
23. Juli 2001
Veröffentlichung
27. September 2017
Erteilung
27. September 2017
Rechtsraum
EP
IPC
B08B3/08B08B7/00B08B7/02C04B41/91C04B41/00C04B41/53
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
CoorsTek, Inc.
Saint-Gobain Ceramics and Plastics, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Leidescher, Thomas, Dr München, Deutschland
53
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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