Kompositstruktur für Elektronische Mikrosysteme sowie Verfahren zur Herstellung der Kompositstruktur

EP1314191 Art B1 31. März 2004

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1314191
Aktenzeichen
EP01974023
Anmeldetag
31. August 2001
Veröffentlichung
31. März 2004
Erteilung
31. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205C23C16/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Patentanwalt Dr. Roland Gagel München, Deutschland
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