Organosilikatharz-Hart-Maske für Polymere in der Herstellung von Mikroelektronischen Schaltungen
EP1314193
Art A2
28. Mai 2003
Anmelder: Dow Global Technologies LLC, DOW GLOBAL TECHNOLOGIES INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1314193
- Aktenzeichen
- EP01964224
- Anmeldetag
- 20. August 2001
- Veröffentlichung
- 28. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/312C09D183/06H01L21/311
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Dow Global Technologies LLC
DOW GLOBAL TECHNOLOGIES INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Dow Global Technologies
US-amerikanisches Tochterunternehmen des Chemiekonzerns Dow, das geistiges Eigentum verwaltet und Patente aus Forschung zu Kunststoffen, Chemikalien und Materialwissenschaften der Dow-Gruppe hält.
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