Herstellung von Silizium-Germanium-Strukturen hoher Beweglichtkeit durch Niederenergyplasma unterstützte chemische Dampfabscheidung

EP1315199 Art A1 28. Mai 2003

Anmelder: Dichroic cell s.r.l., ETH Zürich 🇮🇹

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🇨🇭 ETH Zürich

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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