Radialantenne und Plasmaverarbeitungsvorrichtung damit
EP1315201
Art A1
28. Mai 2003
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1315201
- Aktenzeichen
- EP01955560
- Anmeldetag
- 2. August 2001
- Veröffentlichung
- 28. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01L21/205H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Vertreten von
Liesegang, Roland
München, Deutschland
387
Patente gesamt
29
Fachgebiete
9
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Schwerpunkte