Optisches Bauteil für die Photolithographie und Verfahren zur Bewertung desselben
EP1316848
Art A3
4. Mai 2005
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1316848
- Aktenzeichen
- EP02026646
- Anmeldetag
- 29. November 2002
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01M11/02G02B1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
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