Vorrichtung und Verfahren zur Vakuumbeschichtung mittels Lichtbogen

EP1316986 Art B1 21. Juni 2006

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1316986
Aktenzeichen: EP02026683
Anmeldetag: 29. November 2002
Veröffentlichung: 21. Juni 2006
Erteilung: 21. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H05H1/50C23C14/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissin Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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