Ultraschnelle Wärmebehandlungskammer und Anwendungsverfahren

EP1317766 Art A1 11. Juni 2003

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc., HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1317766
Aktenzeichen
EP02720958
Anmeldetag
12. Februar 2002
Veröffentlichung
11. Juni 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Hitachi Kokusai Electric Inc.
HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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