Verfahren und Einrichtung zur Messung der Kavitation
EP1317806
Art A1
11. Juni 2003
Anmelder: Lam Research AG, SEZ AG, L-Tech Corporation 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1317806
- Aktenzeichen
- EP01958904
- Anmeldetag
- 10. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 11. Juni 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/17G01N21/70G01N21/85G01N29/02G01N29/24H04B17/00B08B3/12B01J19/10H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research AG
SEZ AG
L-Tech Corporation - Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hallam, Arnold Vincent
NoneBirmingham