Sputterbeschichtungsanlage und Verfahren zur Herstellung eines Films

EP1318209 Art B1 16. April 2008

Anmelder: Canon Anelva Corporation, ANELVA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1318209
Aktenzeichen: EP02024000
Anmeldetag: 26. Oktober 2002
Veröffentlichung: 16. April 2008
Erteilung: 16. April 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/35G11B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Canon Anelva Corporation
ANELVA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Metallurgie & Oberflächentechnik

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