Vakuumpumpe

EP1318309 Art B1 6. Januar 2010

Anmelder: Edwards Japan Limited, BOC Edwards Japan Limited, BOC Edwards Technologies, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1318309
Aktenzeichen
EP02258172
Anmeldetag
27. November 2002
Veröffentlichung
6. Januar 2010
Erteilung
6. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Edwards Japan Limited
BOC Edwards Japan Limited
BOC Edwards Technologies, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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