Katadioptrisches optisches System und Belichtungsvorrichtung mit einem solchem System
EP1318425
Art B1
8. März 2006
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1318425
- Aktenzeichen
- EP03000101
- Anmeldetag
- 13. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 8. März 2006
- Erteilung
- 8. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B17/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Burke, Steven David
London, Großbritannien
453
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