Flüssige Zusammensetzung zum Entfernen von Photoresistrückständen
EP1318432
Art B1
16. Februar 2011
Anmelder: Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1318432
- Aktenzeichen
- EP02026936
- Anmeldetag
- 4. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 16. Februar 2011
- Erteilung
- 16. Februar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
Fachgebiete
Vertreten von
Vossius, Volker
München, Deutschland
264
Patente gesamt
24
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Vossius, Volker, Dr
NoneMünchen