Methode und System zur Halbleiterherstellung
EP1319244
Art A1
18. Juni 2003
Anmelder: KLA-Tencor Corporation, KLA-TENCOR INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1319244
- Aktenzeichen
- EP01975770
- Anmeldetag
- 20. September 2001
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-Tencor Corporation
KLA-TENCOR INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Lukaszyk, Szymon
Kancelaria Patentowa LukaszykNone
-
Picker, Madeline Margaret
NoneLondon