Verfahren zum Zerteilen von Halbleiterplättchen mit U-förmigen Nuten

EP1320126 Art A3 11. März 2009

Anmelder: Xerox Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1320126
Aktenzeichen: EP02026679
Anmeldetag: 29. November 2002
Veröffentlichung: 11. März 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304H01L21/784B28D5/02H01L21/306H01L27/14H01L31/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Xerox Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Xerox

US-amerikanischer Technologiekonzern, der Drucker, Kopierer, Multifunktionsgeräte sowie Dokumentenmanagement- und Druckdienstleistungen für Unternehmen anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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