Gaszusammensetzungen zur Innenreaktorreinigung und zum Ätzen von Silizium Enthaltenden Verbindungen

EP1320875 Art B1 12. August 2015

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Renesas Electronics Corporation, Panasonic Corporation, Daikin Industries, Ltd., Canon Anelva Corporation, Sanyo Electric Co., Ltd., Hitachi Kokusai Electric Inc., Sony Corporation, Kanto Denka Kogyo Co., Ltd., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, ANELVA CORPORATION, National Institute of Advanced Industrial Science And Technology, Renesas Technology Corp., NEC Electronics Corporation, DAIKIN INDUSTRIES, LTD., SANYO ELECTRIC CO., LTD., SONY CORPORATION, Kanto Denka Kogyo CO., LTD., MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., Research Institute of Innovative Technology for the Earth 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1320875
Aktenzeichen: EP01970182
Anmeldetag: 21. September 2001
Veröffentlichung: 12. August 2015
Erteilung: 12. August 2015
Rechtsraum: EP
IPC: B08B7/00C09K13/00H01L21/3065H01L21/311H01L21/3213C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Renesas Electronics Corporation
Panasonic Corporation
Daikin Industries, Ltd.
Canon Anelva Corporation
Sanyo Electric Co., Ltd.
Hitachi Kokusai Electric Inc.
Sony Corporation
Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
ANELVA CORPORATION
National Institute of Advanced Industrial Science And Technology
Renesas Technology Corp.
NEC Electronics Corporation
DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
SANYO ELECTRIC CO., LTD.
SONY CORPORATION
Kanto Denka Kogyo CO., LTD.
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Research Institute of Innovative Technology for the Earth
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Renesas Electronics

Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Mikrocontroller, analoge Bauelemente und Halbleiterlösungen unter anderem für die Automobil- und Industrieelektronik.

1.103 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

3.412 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Sanyo Electric

Ehemaliger japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Osaka, seit 2011 Teil des Panasonic-Konzerns. Sanyo war aktiv in Unterhaltungselektronik, Halbleitern, Batterietechnik und Solartechnologie.

1.709 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

16.329 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Sony Group

Japanischer Technologie- und Unterhaltungskonzern mit Sitz in Tokio. Sony entwickelt Unterhaltungselektronik, Bildsensoren, Spielesysteme sowie Musik- und Filmangebote.

30.400 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

147 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

19.509 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

36.518 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von