Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabearbeitung
EP1321963
Art B1
18. April 2007
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA, Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1321963
- Aktenzeichen
- EP02028525
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 18. April 2007
- Erteilung
- 18. April 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CANON KABUSHIKI KAISHA
Canon Kabushiki Kaisha - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Leson, Thomas Johannes Alois, Dipl.-Ing
München, Deutschland
4.590
Patente gesamt
34
Fachgebiete
21
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TBK
TBK · München
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TBK-Patent
TBK-Patent · München