Vorrichtung zur Behandlung eines Halbleitersubstrates mit einer chemischen Lösung

EP1321970 Art A2 25. Juni 2003

Anmelder: NEC Electronics Corporation, Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha, KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1321970
Aktenzeichen: EP02027086
Anmeldetag: 3. Dezember 2002
Veröffentlichung: 25. Juni 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NEC Electronics Corporation
Kanto Kagaku Kabushiki Kaisha
KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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