Poröser Siliziumoxidfilm mit Niedriger Permitivität, Halbleiterbauelemente und Beschichtungszusammensetzung

EP1321974 Art B1 8. Oktober 2014

Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant Finance (BVI) Limited, Clariant International Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1321974
Aktenzeichen
EP01958571
Anmeldetag
28. August 2001
Veröffentlichung
8. Oktober 2014
Erteilung
8. Oktober 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02C09D183/16H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant Finance (BVI) Limited
Clariant International Ltd.
Land
🇺🇸 USA
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