In-Situ-Verfahren und -Vorrichtung zur Endpunktdetektion Beim Chemischen Mechanischen Polieren
EP1322940
Art A1
2. Juli 2003
Anmelder: ASML US, Inc., MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY, Massachusetts Institute Of Technology 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1322940
- Aktenzeichen
- EP01957372
- Anmeldetag
- 31. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 2. Juli 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/86G01B11/06B24B37/04B24B49/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML US, Inc.
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Massachusetts Institute Of Technology - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
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Vertreten von
Dunlop, Brian Kenneth Charles
Cheltenham, Großbritannien
403
Patente gesamt
32
Fachgebiete
16
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Schwerpunkte
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-
Stoner, Gerard Patrick
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