Sehr Schmalbandiges Gasentladungslasersystem mit Zwei Kammern und Hoher Wiederholungsrate

EP1323216 Art A1 2. Juli 2003

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1323216
Aktenzeichen: EP01977198
Anmeldetag: 25. September 2001
Veröffentlichung: 2. Juli 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/225H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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