Keramik mit Niedriger Thermischer Expansion und Bauteil für Belichtungssysteme

EP1323684 Art B9 3. März 2010

Anmelder: Ferrotec Ceramics Corporation, Sumikin Ceramics & Quartz Co., Ltd., SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1323684
Aktenzeichen
EP01967756
Anmeldetag
20. September 2001
Veröffentlichung
3. März 2010
Erteilung
3. März 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C04B35/16H01L21/027G03F7/20C04B35/19C04B35/195C04B35/645
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Ferrotec Ceramics Corporation
Sumikin Ceramics & Quartz Co., Ltd.
SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Metal Industries

Sumitomo Metal Industries war ein japanischer Stahl- und Metallkonzern, der 2012 mit Nippon Steel fusionierte. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Maschinenelemente und Fluidtechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus dem Zeitraum 2000 bis 2012.

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