Zusammensetzung für das chemisch-mechanische Polieren von Metall- und Metall-Dielektrikastrukturen

EP1323798 Art A1 2. Juli 2003

Anmelder: Bayer Aktiengesellschaft 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1323798
Aktenzeichen: EP02028034
Anmeldetag: 16. Dezember 2002
Veröffentlichung: 2. Juli 2003
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Bayer Aktiengesellschaft
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Bayer

Deutscher Konzern mit Sitz in Leverkusen, tätig in den Bereichen Pharmazeutika, Consumer Health und Agrarwissenschaften mit Entwicklung von Arzneimitteln, Saatgut und Pflanzenschutzmitteln.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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