Werkstück-Haltemechanismus
EP1324381
Art B1
26. September 2012
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1324381
- Aktenzeichen
- EP01984369
- Anmeldetag
- 26. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 26. September 2012
- Erteilung
- 26. September 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H01L21/3065C23C16/458H01J37/32H01L21/683H01J37/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Brisch, Georg
Stuttgart, Deutschland
34
Patente gesamt
19
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte