Verfahren zum Übertragen von Halbleiter-Dünnschichten aus einer Dünnschicht-Quelle.

EP1324385 Art B1 23. Mai 2012

Anmelder: Soitec, S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1324385
Aktenzeichen
EP02293182
Anmeldetag
20. Dezember 2002
Veröffentlichung
23. Mai 2012
Erteilung
23. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/18H01L21/20H01L21/762H01L29/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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