Verfahren zum Meiden von Schlieren auf Euv Lithographie Spiegeln
EP1324857
Art A1
9. Juli 2003
Anmelder: Corning Incorporated, CORNING INCORPORATED 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1324857
- Aktenzeichen
- EP01979254
- Anmeldetag
- 18. September 2001
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B7/24B24B1/00B24B13/06C03B19/14C03B23/025G02B5/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Corning Incorporated
CORNING INCORPORATED - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Corning
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.
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Vertreten von
Boon, Graham Anthony
Sevenoaks, Großbritannien
387
Patente gesamt
23
Fachgebiete
9
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