Leichte Euv-Lithographiestufen auf Silikabasis

EP1325386 Art A1 9. Juli 2003

Anmelder: Corning Incorporated, CORNING INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1325386
Aktenzeichen
EP01973468
Anmeldetag
26. September 2001
Veröffentlichung
9. Juli 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03B27/58G03B27/42G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Corning Incorporated
CORNING INCORPORATED
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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