Verfahren zum Herstellen eines Mikromusters aus Metall oder Metalloxyd

EP1326136 Art A1 9. Juli 2003

Anmelder: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1326136
Aktenzeichen
EP02258983
Anmeldetag
27. Dezember 2002
Veröffentlichung
9. Juli 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Samsung Electronics

Südkoreanischer Elektronikkonzern und Teil der Samsung-Gruppe. Entwickelt und produziert Halbleiter, Speicherchips, Displays, Smartphones, Unterhaltungselektronik sowie Haushaltsgeräte für den globalen Markt.

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