Chemisch-Mechanisches Polierverfahren
EP1326733
Art A1
16. Juli 2003
Anmelder: ASML US, Inc., MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY, Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1326733
- Aktenzeichen
- EP01957381
- Anmeldetag
- 31. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B49/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML US, Inc.
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Massachusetts Institute of Technology - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
5.635 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Dunlop, Brian Kenneth Charles
Cheltenham, Großbritannien
403
Patente gesamt
32
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Stoner, Gerard Patrick
NoneLondon