Vereinfachte Methode, Nanoporöse Filme auf Silizium-Basis Herzustellen

EP1327260 Art A2 16. Juli 2003

Anmelder: Honeywell International Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1327260
Aktenzeichen
EP01935047
Anmeldetag
4. Mai 2001
Veröffentlichung
16. Juli 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Honeywell International Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Honeywell

US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.

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