Gasspeicher- und Verteilsystem mit einem ein Fluid Enthaltenden Gefäss, Welches einen in Situ Einstellbaren Regler Enthält

EP1328756 Art B1 1. September 2010

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1328756
Aktenzeichen
EP01924842
Anmeldetag
9. April 2001
Veröffentlichung
1. September 2010
Erteilung
1. September 2010
Rechtsraum
EP
IPC
F17C13/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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