Messmarkierung mit Verbesserter Überlagerungsausrichtung

EP1328774 Art A1 23. Juli 2003

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

Gover, Richard Paul Leeds, Großbritannien

1.025

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Software & Datenverarbeitung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Akustik, Musik & Datenspeicherung

Weitere Vertreter