Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen einer Halbleiterscheibe
EP1328968
Art A1
23. Juli 2003
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1328968
- Aktenzeichen
- EP01988947
- Anmeldetag
- 8. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/321H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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Fachgebiete
Vertreten von
Wilhelm, Jürgen
München, Deutschland
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