Magnetfeldgenerator für Magneton-Plasma und Plasmaätzvorrichtung und Verfahren mit dem Magnetfeldgenerator

EP1329947 Art B1 4. Juli 2012

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Company, Ltd., TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1329947
Aktenzeichen: EP01958549
Anmeldetag: 28. August 2001
Veröffentlichung: 4. Juli 2012
Erteilung: 4. Juli 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Shin-Etsu Chemical Company, Ltd.
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

4.642 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von