Integrierte Phasentrennvorrchtung für Hoch-Vacuumanlage

EP1330561 Art B1 10. November 2004

Anmelder: VEECO INSTRUMENTS INC., Veeco Instruments Inc., APPLIED EPI, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1330561
Aktenzeichen
EP01971298
Anmeldetag
21. September 2001
Veröffentlichung
10. November 2004
Erteilung
10. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C30B23/02F25J1/02F04B37/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
VEECO INSTRUMENTS INC.
Veeco Instruments Inc.
APPLIED EPI, INC.
Land
🇺🇸 USA

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