Vitrifizierte Direktablagerungs-Silizium-Oxyfluoridlithographieglasfotomaskenrohlinge mit Vakuum-Ultraviolett-Durchlass

EP1330680 Art A1 30. Juli 2003

Anmelder: Corning Incorporated, CORNING INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1330680
Aktenzeichen
EP01955932
Anmeldetag
24. Juli 2001
Veröffentlichung
30. Juli 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03F9/00C03B37/027C03C3/112C03C15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Corning Incorporated
CORNING INCORPORATED
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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