Ausgeheizte Kupferlegierungselektroden für Fluorhaltige Gasentladungslaser
EP1330861
Art A1
30. Juli 2003
Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1330861
- Aktenzeichen
- EP01983929
- Anmeldetag
- 5. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/22H01S3/03H01S3/097
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cymer, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cymer
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
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Vertreten von
Schuster, Thomas
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