Oberflächenprofilierung durch Kontrollierte Verwendung von Behandlungsflüssigkeit mittels Marangoni-Effekt

EP1332119 Art A1 6. August 2003

Anmelder: The Regents of the University of California, THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1332119
Aktenzeichen
EP01973642
Anmeldetag
1. Oktober 2001
Veröffentlichung
6. August 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C03C15/00H01L21/00B05C5/02G02B6/12
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
The Regents of the University of California
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of California

US-amerikanisches öffentliches Universitätssystem mit zahlreichen Standorten (u.a. Berkeley, Los Angeles, San Diego). Die Regents of the University of California halten die Patente aus Forschung in Biotechnologie, Medizin, Materialwissenschaften und Ingenieurwesen.

8.774 Patente in unserer Datenbank

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen