Elektrostatisch Festgeklemmter Randring für die Plasmaverarbeitung

EP1332241 Art B1 3. September 2008

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1332241
Aktenzeichen: EP01977216
Anmeldetag: 26. September 2001
Veröffentlichung: 3. September 2008
Erteilung: 3. September 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/00C23F1/02H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von